真空感應(yīng)碘化爐
碘化爐簡(jiǎn)介
設(shè)備主要技術(shù)參數(shù):
設(shè)備總功率 140KW;
沉積室溫區(qū) Φ300mm*Η600mm;
沉積室加熱溫度 1600℃;
沉積室加熱功率 100KW;
反應(yīng)室均溫區(qū) Φ200mm*Η900mm;
反應(yīng)室加熱溫度 500℃;
反應(yīng)室加熱功率 15KW;
碘儲(chǔ)存室 Φ200mm*Η500mm;
碘儲(chǔ)存室加熱溫度 120℃;
碘儲(chǔ)存室加熱功率 5.5KW;
碘收集冷凝需配置獨(dú)立制冷機(jī)功率 0.75KW;
兩端端蓋油冷循環(huán)溫度 250 ℃;
爐室空爐極限真空度 0.06Pa;